ต่อมาเมื่อวันที่ 10 พฤศจิกายน พ.ศ. 2443 ขณะเมื่อดำรงตำแหน่งเสนาบดีกระทรวงเกษตราธิการอยู่นั้น ทรงพระกรุณาโปรดเกล้าฯ เลื่อนพระยาเทเวศร์ฯ ขึ้นเป็นเจ้าพระยา ดังประกาศพระบรมราชโองการที่ว่า

“ทรงพระราชดำริว่า พระยาเทเวศรวงศวิวัฒน์ ได้รับราชการในกรมมหาดเล็ก ได้รับตำแหน่งโดยลำดับจนถึง เป็นจางวาง และเป็นผู้บัญชาการกรมม้าและกรมมหรสพ ราชการในระหว่างนั้นได้มีหน้าที่ต่าง ๆ อันเป็นที่ไว้วางพระราชหฤทัยสนิทเป็นอันมาก ได้เป็นกรรมการฎีกาและกรรมการเรื่องที่นา และได้รับราชการไปเจริญทางพระราชไมตรีกรุงรัสเซีย พร้อมด้วยพระเจ้าน้องยาเธอ กรมหลวงดำรงราชานุภาพ ที่เมืองลิวาเดีย และได้เป็นข้าหลวงไปปักปันเขตแดนเมืองพัทลุง เมืองสงขลา แล้วได้รับตำแหน่งพระอภิบาลสมเด็จพระบรมโอรสาธิราช เจ้าฟ้ามหาวชิรุณหิศ ภายหลังได้เป็นอุปนายกรัฐมนตรีแล้วเลื่อนขึ้นเป็นสภานายก ครั้นเมื่อเริ่มจัดการกรมสุขาภิบาลก็ได้รับตำแหน่งเป็นอธิบดีในกรมนั้น แล้วเป็นเสนาบดีกระทรวงโยธาธิการ ภายหลังจึงย้ายมาเป็นเสนาบดีกระทรวงเกษตราธิการ พระยาเทเวศรวงศ์วิวัฒน์ เป็นผู้ได้สนิทชิดชอบพระราชอัธยาศัยตั้งแต่เยาว์มา ประกอบด้วยสติปัญญาสามารถมีปฏิภาณปรีชาว่องไวในราชกิจทั้งปวง เมื่อได้รับราชการในหน้าที่ใดก็ได้ตั้งใจฉลองพระเดชพระคุณ โดยความเอื้อเฟื้อมิได้ย่อหย่อน ได้ดำรงราชการในหน้าที่เสนาบดีมาจนบัดนี้ สมควรที่จะเลื่อนยศบรรดาศักดิ์ขึ้นเป็นเจ้าพระยาผู้หนึ่งได้

จึงมีพระบรมราชโองการดำรัสสั่ง ให้สถาปนาพระยาเทเวศรวงศวิวัฒน์ ขึ้นเป็นเจ้าพระยา มีสมญาจารึกในสุพรรณบัฏว่า เจ้าพระยาเทเวศรวงศวิวัฒน์ บรมขัติยราชสวามิภักดิ์ สมบูรณศักดิสุขุมชาติ มธุรวาทวิจิตร สรรพราชกิจพิจารณ์ มโหฬารคุญสมบัติ กัลยาณวัตรมหามาตยาธิบดี พุทธาทิศรีรัตนธาดา เมตตาชวาธยาศรัย อภัยพิริยบรากรมพาหุ นาคนาม ดำรงศักดินา ๑๐๐๐๐ จงเจริญทฤฆชนมายุพรรณ สุขสิริสวัสดิพัฒนมงคล ธนสารสมบัติ บริวารสมบูรณ์ทุกประการ”[5]